[发明专利]一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法在审
申请号: | 202111192402.2 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN113816340A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 朱庆山;马素刚;潘锋;范川林;葛宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院过程工程研究所 |
主分类号: | C01B7/19 | 分类号: | C01B7/19;C01B33/107 |
代理公司: | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人: | 张红生;武玥 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法。所述方法包括预热、流态化转化、除尘、冷凝、精制、增压等工序,具体为:将氟硅酸钠送入预热工序,与流态化转化产生的热烟气进行热交换,将预热后的氟硅酸钠送入流态化转化工序,与预热后的氯化氢气体反应,分别得到气态产物和固态产物;气态产物与固体原料进行换热后,经过除尘处理,再经过多级冷凝、精制获得无水氟化氢产品,分离出来的四氟化硅气体一部分直接进入产品管线,另一部分则与精制尾气一同经过增压处理、预热后进入流态化转化工序。本发明为干法制备氟化氢技术,无需进行脱水处理可得到无水氟化氢。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅酸钠 制备 无水 氟化氢 联产 氟化 方法 | ||
【主权项】:
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