[发明专利]一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法

权利要求书

1.一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法，所述方法包括以下工序：原料预热工序(1)、气体预热工序(2)、流态化转化工序(3)、过滤除尘工序(4)、多级冷凝工序(5)、精制提纯工序(6)、增压工序(7)和循环气预热工序(8)，具体按以下步骤进行：

1)将氟硅酸钠送入原料预热工序(1)，与流态化转化工序(3)产生的热烟气进行热交换，氟硅酸钠原料得到预热；

2)将反应气体氯化氢送入气体预热工序(2)，使氯化氢得以预热；

3)将预热后的氟硅酸钠送入流态化转化工序(3)，与经过预热后的氯化氢气体反应，分别得到含氟化氢的热烟气和固态产物氯化钠；

4)将流态化转化工序(3)得到的热烟气经过原料预热工序后送入过滤除尘工序(4)，使含氟化氢的气体和粉尘分离；

5)将过滤除尘工序(4)除尘后的烟气送入多级冷凝工序(5)，使氟化氢气体变成氟化氢液体，残留的气体则进入增压工序(7)；

6)将多级冷凝工序(5)得到的液态的氟化氢粗品送入精制提纯工序(6)，使氟化氢进一步纯化，得到无水氟化氢产品，而精制尾气则进入增压工序(7)；

7)将多级冷凝工序(5)和精制提纯工序(6)的残留气体和精制尾气送入增压工序(7)，并排除部分作为产品进入四氟化硅管线；

8)将增压工序(7)经过增压后的气体送入循环气预热工序(8)，对其进行预热，预热后的气体进入流态化转化工序(3)。

2.根据权利要求1所述的一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法，其特征在于，所述氟硅酸钠的平均粒度为0.05～2.0mm，Na₂SiF₆质量含量不低于90％。

3.根据权利要求1所述的一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法，其特征在于，气体预热工序(2)中氯化氢气体预热至400～550℃，循环气体预热工序(8)中循环气体预热至550～750℃。

4.根据权利要求1所述的一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法，其特征在于，所述的流态化转化工序(3)采用流化床作为反应器，流态化转化反应温度为400～600℃，颗粒平均停留时间为0.5～4h。

5.根据权利要求1所述的一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法，其特征在于，所述的多级冷凝工序(5)采用多级冷凝的方式，最低冷凝温度-80～-50℃。

6.根据权利要求1所述的一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法，其特征在于，所述的精制提纯工序(6)采用硫酸干燥-多级精馏的方式，精馏条件为：塔板数5～50、蒸发温度15～25℃、塔顶温度10～19℃、回流比1～30。