[发明专利]一种全玻璃微流控芯片及加工方法在审

专利信息
申请号: 202111180525.4 申请日: 2021-10-11
公开(公告)号: CN113941377A 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 李勤;周天丰;李佳雨;崔雨涵;辛怡;魏泽文 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本技术方案公开了一种全玻璃微流控芯片,包括:采用石英玻璃加工的且叠放在一起,并相互密封的透明玻璃顶盖和玻璃底板;透明玻璃顶盖开设鞘液入口、细胞入口、出液孔,玻璃底板具有双凹透镜形状的玻璃微透镜和多个集成光纤通道,还带有对样品进行三维流体聚焦的微流体通道。全玻璃微流控芯片的微结构采用皮秒激光刻蚀装置刻蚀,采用CO2激光回流后处理方法去除毛刺,采用非高温键合实现玻璃之间的良好密封封接。一种用于细胞计数、分类检测的全玻璃微流控芯片系统包括所述全玻璃微流控芯片与激光二极管、光电倍增管、光电二极管、泵、数据采集卡、数据处理设备、废液池、供电模块。本技术方案提有助于高微流控流式细胞术检测的稳定性和准确性。
搜索关键词: 一种 玻璃 微流控 芯片 加工 方法
【主权项】:
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