[发明专利]一种全玻璃微流控芯片及加工方法

权利要求书

1.一种全玻璃微流控芯片，其特征在于，包括：

采用石英玻璃加工的透明玻璃顶盖(1)和玻璃底板(5)，其中，

所述透明玻璃顶盖(1)，其上开设有多个贯通孔，这些贯通孔分别贯通于透明玻璃顶盖(1)的上下表面；

所述玻璃底板(5)的上表面，即玻璃底板(5)与透明玻璃顶盖(1)接触的表面，具有与透明玻璃顶盖(1)的各个贯通孔的位置相对应的多个凹槽；凹槽之间开设有微流体通道(11)，用于对样品进行三维流体聚焦；微流体通道(11)的深度与所述凹槽深度相同，微流体通道(11)的宽度应大于待测样品粒子的最大直径；

所述玻璃底板(5)，从侧壁向内开设多个集成光纤通道，包括激发光纤通道(7)、荧光检测光纤通道(8)、侧向散射光检测光纤通道(9)、前向散射光检测光纤通道(10)；所述每个集成光纤通道的前端内端面都加工为平面；

所述玻璃底板(5)上表面，开设具有双凹透镜形状凹槽，称为玻璃微透镜(6)；激发光纤通道(7)的轴向垂直于鞘液入口(2c)和出液孔(4)之间的微流体通道(11)，且与玻璃微透镜(6)的光轴重合；

透明玻璃顶盖(1)和玻璃底板(5)叠放在一起，使得透明玻璃顶盖(1)的贯通孔与玻璃底板(5)的相应凹槽对齐，并相互密封。

2.如权利要求1所述的全玻璃微流控芯片，其特征在于，所述透明玻璃顶盖(1)开设的多个贯通孔分别作为鞘液入口、细胞入口、出液孔，其中：

鞘液入口，用于注入鞘液，实现三维聚焦；

细胞入口(3)，用于注入细胞样品；

出液孔(4)，用于鞘液和细胞样品的排出。

3.如权利要求2所述的全玻璃微流控芯片，其特征在于，所述细胞入口(3)位于鞘液入口(2b)和鞘液入口(2c)之间；鞘液入口(2a)和出液孔(4)分别位于前三者的两侧；

当透明玻璃顶盖(1)和玻璃底板(5)叠放在一起，并相互密封，鞘液入口(2b)、细胞入口(3)、鞘液入口(2c)、出液孔(4)依次通过微流体通道(11)连通，鞘液入口(2a)通过左右对称布设的2条微流体通道(11)，与鞘液入口(2c)和出液孔(4)之间的微流体通道(11)相连通。

4.如权利要求1-3所述的全玻璃微流控芯片，其特征在于，所述集成光纤通道，宽度0.16～0.6毫米，其中：

前向散射光检测光纤通道(10)与激发光纤通道(7)的轴向呈13°(m)，距离鞘液入口(2c)和出液孔(4)之间的微流体通道(11)外壁0.25毫米(n)放置；

侧向散射光检测光纤通道(9)与激发光纤通道(7)的轴向呈-60°(o)，距离鞘液入口(2c)和出液孔(4)之间的微流体通道(11)外壁0.12(p)毫米放置；

荧光检测光纤通道(8)与激发光纤通道(7)的轴向呈-120°(q)，距离鞘液入口(2c)和出液孔(4)之间的微流体通道(11)外壁0.12毫米(r)放置。

5.如权利要求1-4所述的全玻璃微流控芯片，其特征在于，所述具有双凹透镜形状的玻璃微透镜(6)，其曲率半径分别为0.3毫米(t)和-0.3毫米(s)，整个玻璃微透镜(6)宽度为1.2毫米(u)，深度0.18毫米，负曲率凹面距离鞘液入口(2c)和出液孔(4)之间的微流体通道(11)最近的侧壁距离0.76毫米(v)，正曲率凹面距离激发光纤通道(7)的前端端面0.5毫米(w)，用于将光纤发出的光聚焦到微流体通道(11)的径向中心位置。