[发明专利]原子自组装多元涂层的设计制备方法有效
| 申请号： | 202111175756.6 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113987760B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 章嵩;涂溶;王传彬;张联盟;沈强;李志荣;李迎春 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学;广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;C23C14/54;C23C14/06;G16C60/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 官群;崔友明 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种原子自组装多元涂层的设计制备方法，以单质材料作为原料，根据目标多元涂层所需要的化学组分以及结构需要，采用计算机软件模拟制备参数，然后将所得制备参数导入沉积设备的自动化工艺程序中，沉积制备得到多元涂层。本发明提供的沉积制备方法根据目标多元涂层的显微结构和成分比例，通过计算拟合得到t、f(P)和 |
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| 搜索关键词： | 原子 组装 多元 涂层 设计 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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