[发明专利]一种激光局域加热提高真空系统真空度的装置和方法有效
| 申请号： | 202111172670.8 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113922193B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 师振莲;李子亮;王鹏军;张靖 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G01L21/00 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人： | 张福增 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光局域加热提高真空系统真空度的装置和方法，所述装置包括：高功率全固态激光器、二分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光学垃圾堆、第一反射镜、第二反射镜、聚焦透镜、真空系统和分子泵。所述方法，步骤包括：启动高功率全固态激光器，使激光聚焦到真空系统需要加热的腔体内表面上；增加激光光束的功率至最大，并同时观察真空系统真空计上指数的变化；如果真空计示数变化大，说明真空系统的腔体内表面此位置吸附有杂质气体，激光在此处多停留一会，用于激光加热除气；如此反复，改变激光聚焦在腔体内表面上的位置，逐点除气，直至真空计的示数稳定。本发明可广泛应用于需要高真空度真空系统的实验中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 局域 加热 提高 真空 系统 装置 方法 | ||
【主权项】：
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