[发明专利]一种激光局域加热提高真空系统真空度的装置和方法

权利要求书

1.一种激光局域加热提高真空系统真空度的方法，其特征在于，采用激光局域加热提高真空系统真空度的装置，包括如下步骤：

1)清洁真空系统的通光窗口片，以免大功率激光将其损伤；

2)启动分子泵，并且使分子泵的抽运速率达到最大状态；

3)启动高功率全固态激光器，旋转二分之一波片，使偏振分光棱镜的透射光束功率最小；测量需要加热的腔体内表面位置到真空系统通光窗口片的距离，用以选取合适的聚焦透镜，通过聚焦透镜使激光聚焦到需要加热的腔体内表面上；

4)旋转二分之一波片，将偏振分光棱镜的透射光束功率增加至最大，并同时观察真空系统真空计上指数的变化；如果真空计示数变化大，说明真空系统的腔体内表面此位置吸附有杂质气体，激光在此处多停留一会，用于激光加热除气；待真空计的示数稳定，此位置的除气完成；

5)调节第一反射镜和第二反射镜，改变激光聚焦在腔体内表面上的位置，重复步骤3和4，直至真空计的示数稳定；

所述的激光局域加热提高真空系统真空度的装置，包括：高功率全固态激光器、二分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光学垃圾堆、第一反射镜、第二反射镜、聚焦透镜、真空系统和分子泵；所述的高功率全固态激光器输出的激光，依次通过二分之一波片和偏振分光棱镜；偏振分光棱镜的反射光束进入光学垃圾堆；偏振分光棱镜的透射光束再依次通过准直透镜、第一反射镜、第二反射镜和聚焦透镜，最后照射在真空系统的腔体内表面上；分子泵与真空系统使用波纹管相连，用于抽取真空系统内高温加热释放的杂质气体。

2.如权利要求1所述的一种激光局域加热提高真空系统真空度的方法，其特征在于，所述的高功率全固态激光器的输出功率大于10W，波长为可见光范围波长。