[发明专利]一种激光局域加热提高真空系统真空度的装置和方法有效
| 申请号: | 202111172670.8 | 申请日: | 2021-10-08 |
| 公开(公告)号: | CN113922193B | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
| 发明(设计)人: | 师振莲;李子亮;王鹏军;张靖 | 申请(专利权)人: | 山西大学 |
| 主分类号: | H01S3/00 | 分类号: | H01S3/00;G01L21/00 |
| 代理公司: | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人: | 张福增 |
| 地址: | 030006 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 激光 局域 加热 提高 真空 系统 装置 方法 | ||
本发明提供了一种激光局域加热提高真空系统真空度的装置和方法,所述装置包括:高功率全固态激光器、二分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光学垃圾堆、第一反射镜、第二反射镜、聚焦透镜、真空系统和分子泵。所述方法,步骤包括:启动高功率全固态激光器,使激光聚焦到真空系统需要加热的腔体内表面上;增加激光光束的功率至最大,并同时观察真空系统真空计上指数的变化;如果真空计示数变化大,说明真空系统的腔体内表面此位置吸附有杂质气体,激光在此处多停留一会,用于激光加热除气;如此反复,改变激光聚焦在腔体内表面上的位置,逐点除气,直至真空计的示数稳定。本发明可广泛应用于需要高真空度真空系统的实验中。
技术领域
本发明涉及冷原子实验中的真空系统,具体是一种激光局域加热快速提高真空系统真空度的装置和方法。
背景技术
真空系统是冷原子实验系统中的一个重要器件,实验研究的原子装载在真空系统中,如果真空系统的真空度达不到需要的数值,真空系统内的背景气体将会和原子碰撞,使得原子寿命很短,从而无法进行后续的实验研究。目前有多种不同的真空泵用于抽取和获得真空。其中,分子泵是一种用途很广的真空泵,但对于氢气等轻质气体的抽速小;钛升华泵是基于化学吸附来抽除气体的泵,但主要是对活性分子的抽速大,对惰性气体不能吸附抽除;离子泵是抽除惰性气体较好的真空泵。对于已经投入使用的真空系统,真空系统的腔体上不可避免地会附有一些金属原子,或者如果要更换装载的原子或者真空系统漏气,这样真空系统因暴露在空气中而吸附了杂质气体。这些吸附在腔体上的杂质气体将缓慢释放,从而影响真空系统的真空度。为了减小杂质气体对真空系统真空度的影响,现有技术为使用加热带整体包裹真空系统的腔体,整体加热来除去杂质气体,但由于加热带的加热温度限制,真空系统的腔体内表面上,特别是焊接部分和拐角部分,依然有剩余杂质气体没有去除。
发明内容
为了去除这些杂质气体,进一步提高真空系统的真空度,本发明的目的在于提供一种简单、快速、高效的激光局域加热提高真空系统真空度的装置和方法。
本发明针对冷原子实验中的真空系统,对于真空腔体内表面吸附的杂质气体,设计了一种可以快速除气的装置和方法,配合分子泵,该方法不仅可以大大减少抽真空的时间,而且能够有效提高真空系统的真空度。
本发明提供的一种激光局域加热提高真空系统真空度的装置,包括:高功率全固态激光器、二分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光学垃圾堆、第一反射镜、第二反射镜、聚焦透镜、真空系统、分子泵;所述的高功率全固态激光器输出的激光,依次通过二分之一波片和偏振分光棱镜;偏振分光棱镜的反射光束进入光学垃圾堆;偏振分光棱镜的透射光束再依次通过准直透镜、第一反射镜、第二反射镜和聚焦透镜,最后照射在真空系统的腔体内表面上;分子泵与真空系统使用波纹管相连,用于抽取真空系统内高温加热释放的杂质气体。
所述的高功率全固态激光器的输出功率大于10W,波长为可见光范围波长。
所述的二分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、第一反射镜、第二反射镜、聚焦透镜均为适用于高功率全固态激光器激光波长的光学元件。
基于上述装置,本发明提供的一种激光局域加热提高真空系统真空度的方法,包括如下步骤:
1)清洁真空系统的通光窗口片,以免大功率激光将其损伤;
2)启动分子泵,并且使分子泵的抽运速率达到最大状态;
3)启动高功率全固态激光器,旋转二分之一波片,使偏振分光棱镜的透射光束功率最小;测量需要加热的腔体内表面位置到真空系统通光窗口片的距离,用以选取合适的聚焦透镜,通过聚焦透镜使激光聚焦到需要加热的腔体内表面上;
4)旋转二分之一波片,将偏振分光棱镜的透射光束功率增加至最大,并同时观察真空系统真空计上指数的变化;如果真空计示数变化大,说明真空系统的腔体内表面此位置吸附有杂质气体,激光在此处多停留一会,用于激光加热除气;待真空计的示数稳定,此位置的除气完成;
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