[发明专利]工业用机器人的手和工业用机器人在审
| 申请号： | 202111170110.9 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114378837A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 细川正己;中江孝郎 | 申请（专利权）人： | 日本电产三协株式会社 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/02;B25J15/08;B25J18/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 沈捷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够在使晶圆旋转的状态下进行搬运的制造成本低的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备：晶圆装载部(14a)；转动部(144)，其支承晶圆装载部(14a)且构成为绕沿Y方向延伸的轴旋转自如；按压部(145)，其被转动部(144)支承为向Y方向移动自如，且能够按压装载在晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面；以及轴部件(146)，其与按压部(145)固定连接且构成为沿Y方向移动自如，轴部件(146)能够与转动部(144)的旋转连动而旋转，转动部(144)的旋转轴(AL)和轴部件(146)的轴中心(CP1)一致。 | ||
| 搜索关键词： | 工业 机器人 | ||
【主权项】：
暂无信息
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