[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 202111170047.9 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114628210A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 本美元伸;山口聪;酒井计;西滨宽 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;G06V10/44;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带电粒子束装置，其能够抑制数据量的增大，并且缩短方案评价所需的时间。带电粒子束装置具有：显微镜，其对试样扫描带电粒子束，检测从试样释放出的2次粒子来输出检测信号；以及计算机系统，其根据检测信号生成帧图像，进行基于帧图像的图像处理。计算机系统计算多个帧图像间的矩图像，并基于矩图像计算帧图像的特征量数据。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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