[发明专利]一种适用于直写光刻机的高速数据传输系统在审
| 申请号： | 202111169407.3 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113903366A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 章广飞;王运钢;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/0045 | 分类号： | G11B7/0045;G06F13/40 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 侯克邦 |
| 地址： | 230051 安徽省合肥市包河经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及数据传输系统，具体涉及一种适用于直写光刻机的高速数据传输系统，将多个数据处理板需要的数据进行集中，一次性从万兆光纤网输出，明显减少了总线抢占情况，并且通讯能力强、抗干扰能力强、稳定性好，有效提高了数据传输效率；数据同步与分发模块接收到数据后，按照预设子协议将不同数据数据处理板需要的数据转发至对应的数据处理板，并与平台位置信号比较，如果在该位置则数据处理板将数据发送至对应数字光调制器，实现了数据传输系统与无掩膜光刻的高同步性与实时性；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的无掩膜光刻数据传输效率较低的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 光刻 高速 数据传输 系统 | ||
【主权项】：
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