[发明专利]等离子体CVD设备

摘要

本发明公开了一种等离子体CVD设备，腔体包括由底板、侧壁及壁及顶盖围合构成的内腔，侧壁内设有侧壁冷却腔，顶盖上设有均匀进气装置，底板上设有均匀排气装置，内腔的下部设有用于放置基材的平台，平台内部设有平台冷却腔，机架上的微波源与波导同轴转换装置连接，波导同轴转换装置的同轴输出端外导体与底板上的微波输入孔连接，内导体与平台冷却腔底部的开口相连，内导体内套设有冷却液输入管。本发明的等离子体CVD设备具有结构简单，效率高、基材取放操作方便且腔体体积小的优点。