[发明专利]一种超纯氩气生产系统及其方法在审
申请号: | 202111164394.0 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN115872374A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 薛建孝 | 申请(专利权)人: | 江阴市金马气体有限公司 |
主分类号: | C01B23/00 | 分类号: | C01B23/00 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 苗雨 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及氩气生产技术领域,具体涉及一种超纯氩气生产系统及其方法。本发明包括原料输送设备,所述原料输送设备通过管道连接设置有第一氩气纯化器,所述第一氩气纯化器通过管道连接设置有第二氩气纯化器,所述第二氩气纯化器通过管道连接设置有氩气压缩机,所述氩气压缩机通过管道连接设置有隔膜压缩机,所述隔膜压缩机连接设置有灌装设备。将液氩放在原料输送设备中进行气化,并将气化的氩气输送至第一氩气纯化器中进行纯化,纯化后的氩气再次输送至第二氩气纯化器中进行纯化,经过二次纯化的氩气经过氩气压缩机和隔膜压缩机的增压和压缩后传输至灌装设备上的气瓶进行灌装,从而实现对超纯氩气的生产以及灌装。 | ||
搜索关键词: | 一种 超纯氩气 生产 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
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