[发明专利]一种含氟氧杂烷烃、包含其的用于半导体制程的冷却剂及用途在审
| 申请号： | 202111158212.9 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN113773177A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 曾一铮;刘星;米欣 | 申请（专利权）人： | 深圳市盈石科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C43/12 | 分类号： | C07C43/12;C07C41/18;C07C41/42;C07C51/58;C07C59/135;C07D301/12;C07D303/48;C09K5/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中知星原知识产权代理事务所(普通合伙) 11868 | 代理人： | 张文静;艾变开 |
| 地址： | 518045 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含氟氧杂烷烃、包含其的用于半导体制程的冷却剂及用途。所述用于半导体制程的冷却剂，包含5～20wt％的所述的含氟氧杂烷烃和80wt％以上的2‑氢‑全氟‑5,8,11‑三甲基‑3,6,9,12‑四氧杂十五烷，所述冷却剂的沸程为170～190℃，倾点为‑78～‑82℃，‑20℃的运动粘度12cst以下。本申请提供的含氟氧杂烷烃，适合于与沸点较高的2‑氢‑全氟‑5,8,11‑三甲基‑3,6,9,12‑四氧杂十五烷配合，在保证沸点170～190℃的前提下，增加‑20～‑30℃的冷却剂的流动性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含氟氧杂 烷烃 包含 用于 半导体 冷却剂 用途 | ||
【主权项】：
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