[发明专利]一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备

摘要

本发明公开了一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，包括清洗箱体，所述清洗箱体的一侧表面固定连接有驱动架，所述驱动架的一端表面转动安装有机械臂，所述机械臂的一端表面设有连接豁口，所述连接豁口的侧面设有倾斜限位面，所述连接豁口的侧面转动安装有转动轴，所述转动轴的表面转动安装有摆动杆，所述摆动杆的一端表面固定安装有电机，所述电机的一端表面转动连接有连接轴，所述连接轴的表面转动安装有安装架，所述安装架的表面固定安装有吸附盘，所述吸附盘的表面负压吸附有晶圆，所述安装架和晶圆均位于清洗箱体的一侧位置，这样能够大大提高使用的便利性和稳定性，保证清洗的效率和效果。