[发明专利]一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备

说明书

本发明公开了一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，包括清洗箱体，所述清洗箱体的一侧表面固定连接有驱动架，所述驱动架的一端表面转动安装有机械臂，所述机械臂的一端表面设有连接豁口，所述连接豁口的侧面设有倾斜限位面，所述连接豁口的侧面转动安装有转动轴，所述转动轴的表面转动安装有摆动杆，所述摆动杆的一端表面固定安装有电机，所述电机的一端表面转动连接有连接轴，所述连接轴的表面转动安装有安装架，所述安装架的表面固定安装有吸附盘，所述吸附盘的表面负压吸附有晶圆，所述安装架和晶圆均位于清洗箱体的一侧位置，这样能够大大提高使用的便利性和稳定性，保证清洗的效率和效果。

技术领域

本发明涉及晶圆生产领域，更具体地说，涉及一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备。

背景技术

在晶圆的生产加工过程中，为了保证产品质量，需要对圆片进行清洗，避免粘连灰尘而影响后续切割焊接，这就需要使用到清洗设备。

但是现有的清洗设备结构，多是直接通过固定位置的机械手进行吸附定位，然后进行药液冲洗，这样不仅容易造成清洗液残留到表面，影响后续加工，而且固定位置冲洗时，容易造成遗漏而影响清洗质量，清洗洁净度较差，不利于控制使用，有待改进。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，通过清洗箱体侧面的机械臂安装摆动杆，结合端部的电机连接吸附盘，利于吸附定位晶圆，同时可以摆动倾斜角度，冲洗时利于观看和液体回流，减少附着，同时可以转动进行全面清洗，结合倾斜挡板安装清洗喷头和吹干喷头，可以一侧冲洗另一侧吹干，保证洁净度和效率，这样能够大大提高使用的便利性和稳定性，保证清洗的效率和效果。

为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。

一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，包括清洗箱体，所述清洗箱体的一侧表面固定连接有驱动架，所述驱动架的一端表面转动安装有机械臂，所述机械臂的一端表面设有连接豁口，所述连接豁口的侧面设有倾斜限位面，所述连接豁口的侧面转动安装有转动轴，所述转动轴的表面转动安装有摆动杆，所述摆动杆的一侧表面贴合于倾斜限位面的表面，所述摆动杆的一端表面固定安装有电机，所述电机的一端表面转动连接有连接轴，所述连接轴的表面转动安装有安装架，所述安装架的表面固定安装有吸附盘，所述吸附盘的表面负压吸附有晶圆，所述安装架和晶圆均位于清洗箱体的一侧位置，所述清洗箱体的侧面固定连接有倾斜挡板，所述倾斜挡板位于晶圆的一侧位置。

进一步的，所述倾斜挡板的一端表面固定安装有清洗喷头，所述清洗喷头对位于晶圆的一侧位置。

进一步的，所述倾斜挡板的另一端表面固定安装有吹干喷头，所述吹干喷头的表面对位于晶圆的另一侧位置，通过倾斜挡板安装清洗喷头和吹干喷头，可以一侧冲洗另一侧吹干，保证洁净度和效率。

进一步的，所述摆动杆的另一端表面设有铰接轴，所述铰接轴的表面铰接有伸缩杆，通过摆动杆铰接伸缩杆，可以伸缩调节进行摆动调节，方便稳定，利于使用。

进一步的，所述伸缩杆的表面位于机械臂的表面，所述伸缩杆的一端表面通过铰接座铰接于机械臂的表面，通过伸缩杆铰接机械臂，避免干涉，利于翻转角度避让，方便调节使用。

进一步的，所述清洗箱体的另一端表面设有清洗槽，所述清洗槽的侧面固定安装有连接管，通过设置清洗槽，利于存储清洗液，方便循环冲洗。

进一步的，所述连接管的一端固定安装有泵体，所述泵体的一端通过软管固定连接于清洗喷头的一端表面，通过泵体连接清洗喷头，可以稳定供水冲洗，高效稳定。

进一步的，所述清洗箱体的一端侧面固定安装有气罐，所述气罐的一端表面固定安装有阀门，所述阀门固定连接于吹干喷头的一端，通过气罐连接吹扫喷头，可以供气吹干，避免残留，提高清洗洁净度。