[发明专利]一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备

权利要求书

1.一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，包括清洗箱体(1)，其特征在于：所述清洗箱体(1)的一侧表面固定连接有驱动架(11)，所述驱动架(11)的一端表面转动安装有机械臂(12)，所述机械臂(12)的一端表面设有连接豁口(13)，所述连接豁口(13)的侧面设有倾斜限位面(14)，所述连接豁口(13)的侧面转动安装有转动轴(15)，所述转动轴(15)的表面转动安装有摆动杆(16)，所述摆动杆(16)的一侧表面贴合于倾斜限位面(14)的表面，所述摆动杆(16)的一端表面固定安装有电机(17)，所述电机(17)的一端表面转动连接有连接轴(18)，所述连接轴(18)的表面转动安装有安装架(2)，所述安装架(2)的表面固定安装有吸附盘(21)，所述吸附盘(21)的表面负压吸附有晶圆(22)，所述安装架(2)和晶圆(22)均位于清洗箱体(1)的一侧位置，所述清洗箱体(1)的侧面固定连接有倾斜挡板(23)，所述倾斜挡板(23)位于晶圆(22)的一侧位置。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述倾斜挡板(23)的一端表面固定安装有清洗喷头(24)，所述清洗喷头(24)对位于晶圆(22)的一侧位置。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述倾斜挡板(23)的另一端表面固定安装有吹干喷头(25)，所述吹干喷头(25)的表面对位于晶圆(22)的另一侧位置。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述摆动杆(16)的另一端表面设有铰接轴(26)，所述铰接轴(26)的表面铰接有伸缩杆(27)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述伸缩杆(27)的表面位于机械臂(12)的表面，所述伸缩杆(27)的一端表面通过铰接座(28)铰接于机械臂(12)的表面。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述清洗箱体(1)的另一端表面设有清洗槽(3)，所述清洗槽(3)的侧面固定安装有连接管(31)。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述连接管(31)的一端固定安装有泵体(32)，所述泵体(32)的一端通过软管(33)固定连接于清洗喷头(24)的一端表面。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述清洗箱体(1)的一端侧面固定安装有气罐(34)，所述气罐(34)的一端表面固定安装有阀门(35)，所述阀门(35)固定连接于吹干喷头(25)的一端。

9.根据权利要求8所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述气罐(34)的另一端固定连接有进气管(36)，所述进气管(37)的一端固定安装有过滤器(37)。

10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，其特征在于：所述晶圆(22)和安装架(2)均转动连接于清洗箱体(1)的侧面，且倾斜排布角度为二十度至二十度五。