[发明专利]一种基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器

摘要

本发明提出一种基于级联F‑P干涉仪的多参量光纤传感器，该光纤传感器的单模光纤插入毛细玻璃管中，毛细玻璃管与位于前侧的石英支撑层固定，所述前侧的石英支撑层、中部的石英支撑层、硅膜片、后部的石英支撑层和PET膜片依次连接，前侧的石英支撑层、中部的石英支撑层和硅膜片上贯通一个通气小孔，硅膜片和PET膜片间设置有空气腔，通气小孔与空气腔连通。解决了对多参数测量的同时，克服各个参量之间的影响的技术问题。本发明采用级联双腔传感器并通过小孔连接空气腔与外界，可以减小动、静压测量时相互的影响，减小了反射光谱的复杂性，后续结合快速白光干涉方法，利于对腔长进行解调。