[发明专利]一种基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器

权利要求书

1.一种基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，包括单模光纤(1)、毛细玻璃管(2)、硅膜片(3)、PET膜片(4)、三层石英支撑层(5)、通气小孔(6)和空气腔(7)，所述单模光纤(1)插入毛细玻璃管(2)中，所述毛细玻璃管(2)与位于前侧的石英支撑层(5)固定，所述前侧的石英支撑层(5)、中部的石英支撑层(5)、硅膜片(3)、后部的石英支撑层(5)和PET膜片(4)依次连接，所述前侧的石英支撑层(5)、中部的石英支撑层(5)和硅膜片(3)上贯通一个通气小孔(6)，所述硅膜片(3)和PET膜片(4)间有空气腔(7)，所述通气小孔(6)与空气腔(7)连通。

2.根据权利要求1所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述单模光纤(1)由石英材料制成。

3.根据权利要求1所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述单模光纤(1)除去涂覆层后插入毛细玻璃管(2)接收反射光谱，并使用外胶粘合固定。

4.根据权利要求1所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述毛细玻璃管(2)直径为1.8mm。

5.根据权利要求1所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述通气小孔(6)的直径为0.1mm。

6.一种如权利要求1-5所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器的应用，其特征在于，所述基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器用于对动压、静压、温度同时进行测量。

7.一种如权利要求1-5所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器的测量方法，其特征在于，通过在前侧的石英支撑层(5)、中部的石英支撑层(5)和硅膜片(3)上开孔的方式来实现不同的压力作用在硅膜片(3)和PET膜片(4)上，再根据测量得到的硅膜片(3)和PET膜片(4)变形，来实现对多参量同步测量。

8.根据权利要求7所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器的测量方法，其特征在于，

针对静压测量，在不同压力作用下的情况，空气腔(7)压力与外界压力相同，压力使硅膜片(3)产生形变，通过对硅膜片(3)腔长的解调，实现对静压的测量。

9.根据权利要求7所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器的测量方法，其特征在于，

针对动压测量，压力作用于PET膜片(4)外侧，压力改变会使PET膜片(4)产生形变，通过对PET膜片(4)腔长的解调，实现对动压的测量。

10.根据权利要求7所述的基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器的测量方法，其特征在于，

在温度测量方面，不同温度下，硅膜片(3)膨胀厚度不同，根据硅膜片(3)膨胀厚度的变化得到温度的变化，进而实现对温度的测量。