[发明专利]一种集成电路芯片测试方法、装置及存储介质在审
| 申请号： | 202111142333.4 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN114089153A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞盛;蒋信;喻涛;李泽;简红;陆园园;张甜 | 申请（专利权）人： | 普赛微科技（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 孙柳 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市临安区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种集成电路芯片测试方法，包括基于预设抽样方法从晶圆上选取多个抽样区域内的所有芯片，并对每个芯片的不同功能模块进行DFT测试采样以得出每个抽样区域内的DFT数据；根据每个芯片的不同功能模块的DFT数据对芯片良品率的影响程度确定特征参数并结合多个抽样区域的芯片DFT数据用于构建机器学习模型，通过对机器学习模型进行训练和验证后得出待使用机器学习模型，然后根据待测晶圆的部分芯片的DFT数据和待使用机器学习模型预测得出待测试晶圆的所有芯片的DFT数据并得出良品率。本发明可大大提高集成电路芯片的测试效率。本发明还提供一种集成电路芯片测试装置及存储介质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 芯片 测试 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
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