[发明专利]测试板及测试系统在审
申请号: | 202111131497.7 | 申请日: | 2021-09-26 |
公开(公告)号: | CN113721134A | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 顾辉;余琨;叶守银;祁建华;叶建明 | 申请(专利权)人: | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 北京睿驰通程知识产权代理事务所(普通合伙) 11604 | 代理人: | 方丁一 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种测试板及测试系统,用于集成电路的低温测试,所述测试板包括:电路板,包括:测试电路组件,设置在所述电路板的一面上;以及安装部件,设置在所述电路板的另一面上,配置为安装所述集成电路的夹具,所述安装部件在所述电路板上的正投影落入所述测试电路组件在所述电路板上的正投影内;加强板,配置为支撑并固定所述电路板,所述加强板包括第一镂空孔,所述第一镂空孔在所述电路板上的正投影覆盖所述测试电路组件在所述电路板上的正投影,以及输气通路,基本上平行与所述电路板,所述输气通路穿过所述加强板的至少一部分,配置为向所述测试电路组件吹入干燥气体。 | ||
搜索关键词: | 测试 系统 | ||
【主权项】:
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