[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器有效
| 申请号: | 202111116978.0 | 申请日: | 2021-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN114301411B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
| 发明(设计)人: | 赵坤丽;高超;孙博文;孙成亮 | 申请(专利权)人: | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 崔熠 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器,涉及滤波器技术领域,包括:衬底,在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极,下电极在衬底上的正投影和上电极在衬底上的正投影具有交叠区域,交叠区域的轮廓形状由圆弧线段和至少两条直线段首尾顺次连接形成,相邻两条直线段的连接点至圆弧线段圆心的距离等于圆弧线段所在圆的半径。如此,使得体声波谐振器能够同时具有较高的机电耦合系数和Q值,从而有效提高器件性能。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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