[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，在所述衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，所述下电极在所述衬底上的正投影和所述上电极在所述衬底上的正投影具有交叠区域，所述交叠区域的轮廓形状由圆弧线段和至少两条直线段首尾顺次连接形成，相邻两条所述直线段的连接点至所述圆弧线段圆心的距离等于所述圆弧线段所在圆的半径；至少两条直线段中的每一条直线段的端点均位于圆弧线段所在的圆上，形成多条直线段均内接于圆弧线段所在的圆。

2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述圆弧线段的圆心角为180°。

3.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述交叠区域为非对称区域。

4.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述直线段的数量为3至5条。

5.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述直线段为至少三条，相邻两条所述直线段的夹角大于90°。

6.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，任意两条所述直线段不平行。

7.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，任意两条所述直线段的长度不相等。

8.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，相邻两条所述直线段的夹角各不相等。

9.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述下电极在所述衬底上的正投影的面积大于所述上电极在所述衬底上的正投影的面积。

10.一种体声波滤波器，其特征在于，包括多个如权利要求1至9任一项所述的体声波谐振器，相邻两个所述体声波谐振器串联或并联。