[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器

说明书

本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：衬底，在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，下电极在衬底上的正投影和上电极在衬底上的正投影具有交叠区域，交叠区域的轮廓形状由圆弧线段和至少两条直线段首尾顺次连接形成，相邻两条直线段的连接点至圆弧线段圆心的距离等于圆弧线段所在圆的半径。如此，使得体声波谐振器能够同时具有较高的机电耦合系数和Q值，从而有效提高器件性能。

技术领域

本申请涉及滤波器技术领域，具体而言，涉及一种体声波谐振器和体声波滤波器。

背景技术

通过电极输入高频交流电信号，体声波谐振器就会产生振动(声波)。高频交流电信号可以激励体声波谐振器产生向各种方向传播的声波，比如面外方向传播的纵波或者面内方向传播的横波。当交流电信号的频率与体声波谐振器纵波谐振频率一致，这时体声波谐振器产生电-声共振，此时交流电信号的频率就是谐振频率。当输入的交流电信号的频率与体声波谐振器横波谐振频率一致，这时体声波谐振器也产生电-声共振，通常我们将此谐振称为寄生谐振，也就是将横波的谐振称为寄生谐振，寄生谐振往往影响谐振器的性能。

现有技术所提供的体声波谐振器的形状通常为多边形或闭合曲线形成图形，其周长较长，使得边缘电容和边缘能量泄露较大，导致品质因数Q值低、机电耦合系数kt较小，体声波谐振器的性能偏低。

发明内容

本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种，以解决的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

本申请实施例的一方面，提供一种体声波谐振器，包括：衬底，在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，下电极在衬底上的正投影和上电极在衬底上的正投影具有交叠区域，交叠区域的轮廓形状由圆弧线段和至少两条直线段首尾顺次连接形成，相邻两条直线段的连接点至圆弧线段圆心的距离等于圆弧线段所在圆的半径。

可选的，圆弧线段的圆心角为180°。

可选的，交叠区域为非对称区域。

可选的，直线段的数量为3至5条。

可选的，直线段为至少三条，相邻两条直线段的夹角大于90°。

可选的，任意两条直线段不平行。

可选的，任意两条直线段的长度不相等。

可选的，相邻两条直线段的夹角各不相等。

可选的，下电极在衬底上的正投影的面积大于上电极在衬底上的正投影的面积。

本申请实施例的另一方面，提供一种体声波滤波器，包括多个上述任一种的体声波谐振器，相邻两个体声波谐振器串联或并联。

本申请的有益效果包括：

本申请提供了一种体声波谐振器和体声波滤波器，包括：衬底，在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，下电极在衬底上的正投影和上电极在衬底上的正投影具有交叠区域，交叠区域的轮廓形状由圆弧线段和至少两条直线段首尾顺次连接形成，相邻两条直线段的连接点至圆弧线段圆心的距离等于圆弧线段所在圆的半径。如此，使得体声波谐振器能够同时具有较高的机电耦合系数和Q值，从而有效提高器件性能。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的一种体声波滤波器的结构示意图之一；

图2为本申请实施例提供的一种体声波滤波器的交叠区域的示意图之一；