[发明专利]等离子体处理装置及等离子体处理方法在审
| 申请号： | 202111112609.4 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN114388325A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 舆水地盐 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明所公开的等离子体处理装置具备产生负直流电压的直流电源。设置于腔室内的基板支承器的偏置电极交替连接于直流电源和接地。将偏置电极连接到接地之后偏置电极的电位达到接地电位为止的时间，设定为比直流电源连接到偏置电极之后偏置电极的电位达到负直流电压为止的时间长。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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