[发明专利]金属微细线直径检测方法与装置在审

专利信息
申请号: 202111090419.7 申请日: 2021-09-17
公开(公告)号: CN113916121A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 张涛;柳潜力;毕秀梅;郑健 申请(专利权)人: 山东兰海新材料科技有限公司
主分类号: G01B7/12 分类号: G01B7/12
代理公司: 威海汇英桥知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37320 代理人: 于保妹
地址: 264200 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了金属微细线直径检测方法与装置,其中方法包括如下步骤:A、构建测试系统,所述测试系统至少包括用于承载金属微细线样品的具有承载面的平台、用于获取检测信息的可移动的敏感件、以及连接到敏感件用于采集检测信息的反馈系统,所述承载面为导电的;B、移动敏感件,以敏感件相对于平台上的承载金属微细线样品发生位移或者形态转变时所采集到的检测信息为依据,获取检测信息发生突变时的突变点相关的敏感件的行程信息;C、求解获得金属微细线直径D。本发明检测过程简单、效率高、检测精度高。
搜索关键词: 金属 微细 直径 检测 方法 装置
【主权项】:
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