[发明专利]金属微细线直径检测方法与装置

权利要求书

1.一种金属微细线直径检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

A、构建测试系统，所述测试系统至少包括用于承载金属微细线样品的具有承载面的平台、用于获取检测信息的可移动的敏感件、以及连接到敏感件用于采集检测信息的反馈系统，所述承载面为导电的；

B、移动敏感件，以敏感件相对于平台上的承载金属微细线样品发生位移或者形态转变时所采集到的检测信息为依据，获取检测信息发生突变时的突变点相关的敏感件的行程信息；

C、以多次重复测试获得的突变点相关的敏感件的行程信息，求解获得金属微细线直径D。

2.如权利要求1所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，所述突变点为通过获得的检测信息-时间曲线一阶求导获得。

3.如权利要求1或2所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，所述检测信息至少包括如下任一：电流信息、电阻信息、电压信息、位移信息。

4.如权利要求1所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，所述反馈系统包括电源、纳安表，所述纳安表串联到电源，所述电源的正极和负极分别电连接到承载面和敏感件，以至少实现与承载面的全部或者部分结构电连接以及实现与敏感件的全部或者部分结构电连接。

5.如权利要求1所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，所述敏感件包括碳纳米管，所述碳纳米管延长方向与敏感件的移动方向平行，且该延长方向垂直于承载面。

6.如权利要求1所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，所述步骤B中的形态转变包括敏感件在接触或者抵触金属微细线样品而发生形变。

7.如权利要求6所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，所述敏感件在接触或者抵触金属微细线样品的端面而发生形变。

8.如权利要求7所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，所述端面与敏感件的移动方向平行。

9.如权利要求7所述的金属微细线直径检测方法，其特征在于，在检测过程中，随着所述敏感件在接触或者抵触金属微细线样品的端面的移动而获得两个突变点x1(dI1/dt1，t)，x2(dI2/dt，t2)，进而通过多次检测获得多组突变点数据，从而求解获得

10.一种金属微细线直径检测装置，其特征在于，包括

反馈系统，用于响应获取的检测信息，

平台，其至少部分区域具有用于限定金属微细线样品的承载面；以及

敏感件，其与反馈系统通信连接，并且该敏感件具有可移动地接近、抵触或远离金属微细线样品的能力，在检测过程中获取检测信息。