[发明专利]基于掺铒铌酸锂的光波导芯片及锁模激光器有效
| 申请号： | 202111088025.8 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113904205B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 吴侃;陈建平 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01S3/063 | 分类号： | H01S3/063;H01S3/1109 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于掺铒铌酸锂的光波导芯片及锁模激光器，该芯片自下向上依次是衬底、二氧化硅包层、掺铒铌酸锂薄膜和射频电极；利用光刻刻蚀所述的掺铒铌酸锂薄膜，形成脊型掺铒铌酸锂波导；在所述的掺铒铌酸锂波导的两侧、互相平行地设置所述的射频电极。本发明采用掺铒铌酸锂薄膜作为波导，即保留了掺铒波导的低噪声增益特性，又引入了铌酸锂波导的电光特性，满足了主动锁模激光器所需的增益和调制需求，配合直流偏置，可以实现低噪声且重频连续可调的集成主动锁模激光器。通过脊型掺铒铌酸锂波导将电极间距靠近，降低所需的调制电压和电功耗，对信号光和泵浦光模斑的强束缚还可以增加两者的交叠，提升泵浦效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 掺铒铌酸锂 波导 芯片 激光器 | ||
【主权项】：
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