[发明专利]一种压力传感器在审
| 申请号： | 202111085998.6 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113790833A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 谢英;孙成亮;刘炎 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器，涉及传感器技术领域，本发明的压力传感器,包括衬底层以及设置于衬底层上表面的压电堆叠结构，在衬底层上表面设置有凹槽，凹槽与压电堆叠结构之间形成密闭的第一腔体，在衬底层内部还形成有密闭的第二腔体，第二腔体与第一腔体间隔且位于第一腔体下，其中，第一腔体的压强大于第二腔体的压强。本发明提供的压力传感器，能够实现高灵敏度、高稳定性的测量，且可承受较大压力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 | ||
【主权项】：
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