[发明专利]一种氧化物旋转靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202111082716.7 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113831141A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张来稳;邵学亮;李开杰;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;C04B35/453;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化物旋转靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：(1)将氧化镨粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末和氧化铟粉末混合，加入分散剂、粘结剂、水和消泡剂球磨得到混合浆料；(2)将混合浆料进行喷雾造粒，得到氧化物转靶材用粉体；(3)将氧化物转靶材用粉体导入模具进行冷等静压成型，得到靶材坯体；(4)将靶材坯体进行脱脂热处理，冷却至常温后进行烧结处理，自然冷却后得到所述氧化物旋转靶材。本发明一方面将氧化镨掺杂铟嫁锌氧化物，提高靶材的载流子迁移率，降低靶材的电阻率。另一方面，通过本发明所述方法制备为管状氧化物旋转靶材，溅射的氧化物薄膜均匀性、稳定性更好，回收利用更经济，薄膜载流子迁移率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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