[发明专利]晶圆对准显微镜、光刻机、键合机及压印机在审
| 申请号： | 202111072897.5 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN113885300A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李凡月;申建雷;沈宝良;黄伟 | 申请（专利权）人： | 拾斛科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 周中民 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆对准显微镜，包括光学成像系统和图像传感器，光学成像系统包括沿光束传播方向依次布置的第一镜组、第二镜组、第三镜组，第一镜组将对准标记成像到无穷远，第二镜组将无穷远处的对准标记成像到无穷远，第二镜组把经过光束分裂为第一光束和第二光束，从第二镜组射出的第一光束的x、y、z方向均不改变，从第二镜组射出的第二光束的z方向不变，x和y方向相反；第三镜组分别接收第一、二光束，并将无穷远处的对准标记分别成像到两个图像传感器。采用晶圆对准显微镜可以消除对准系统光轴偏移的问题，从而达到与传统晶圆对准检测设备旋转晶圆相同的效果，可以高精度实现晶圆标记对准检测。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 显微镜 光刻 键合机 压印 | ||
【主权项】：
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