[发明专利]介电材料、有机晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 202111072887.1 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN114000114B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 孙佳;刘婉蓉;阳军亮 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;H01L51/05;H01L51/40 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 杨斌 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种介电材料、有机晶体管及其制备方法；介电材料由以下制备方法制成：以金属单质或金属混合物作为靶材，采用磁控溅射工艺对所述靶材进行处理，并在处理过程中通入反应气体和溅射气体，处理设定时间后即得到所述介电材料；有机晶体管包括自下至上依次设置的基底、介电层、有机半导体层和电极，其中介电层的材料为上述方法制得的介电材料。本发明大大简化了高K介电材料的制备工艺流程、降低了生产要求和成本，有利于高绝缘性能介电材料的产业化生产，制得的介电材料具有良好的绝缘性能，采用本发明制备的介电材料生产的有机晶体管工作电压仅3V，电流开关比可达到10 |
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| 搜索关键词： | 材料 有机 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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