[发明专利]一种具有压力平衡及安全保护功能的退火装置在审
| 申请号： | 202111071469.0 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115807267A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 魏彦锋;孙权志;祝海彬;林春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/48;H01L21/477;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有压力平衡及安全保护功能的退火装置。退火装置的主体结构由外腔体、内腔体以及加热炉构成，退火材料放置于内腔体中。其特征在于：内腔体为高纯石英材质，内腔体与外腔体通过密封圈隔绝，内、外腔体分别充入高压保护气体，内、外腔体之间保持0.5个大气压的压差，在内、外腔体进气管路之间安装一个常开电磁阀。本发明的优点是：内腔体采用高纯石英材质可以消除杂质对退火材料的污染，内、外腔体之间的压力差可以防止外腔体的杂质向内腔体扩散，内、外腔体进气管路之间的电磁阀可以在异常断电时起到平衡内外腔体压力的保护作用。本发明的装置满足碲镉汞以及其他半导体材料对高温高压退火的技术要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 压力 平衡 安全 保护 功能 退火 装置 | ||
【主权项】：
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