[发明专利]一种具有压力平衡及安全保护功能的退火装置在审
| 申请号： | 202111071469.0 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115807267A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 魏彦锋;孙权志;祝海彬;林春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/48;H01L21/477;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 压力 平衡 安全 保护 功能 退火 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有压力平衡及安全保护功能的退火装置，包括内腔体进气阀(1)、内腔体减压器(2)、外腔体进气阀(3)、外腔体减压器(4)、压力平衡阀(5)、金属盖板(6)、外腔体(7)、内腔体(8)、加热炉(9)，密封圈(10)、安全阀(13)、内腔体出气阀(14)、内腔体质量流量计(15)、内腔体单向阀(16)、外腔体出气阀(17)、外腔体质量流量计(18)、外腔体单向阀(19)；其特征在于：
所述的外腔体(7)为金属材质，内腔体(8)为高纯石英材质，内腔体(8)与外腔体(7)通过密封圈(10)隔绝。内腔体(8)、外腔体(7)分别充入保护气体，内腔体(8)压力大于外腔体压力，压力差为0.5个大气压。压力平衡阀(5)为常开电磁阀，即通电时关闭，断电时开启，压力平衡阀(5)的进口接内腔体(8)的进口，压力平衡阀(5)的出口接外腔体(7)的进口。在内腔体的出气管路上依次安装内腔体出气阀(14)、内腔体质量流量计(15)、内腔体单向阀(16)，内腔体单向阀(16)的出口接尾气。在外腔体的出气管路上依次安装外腔体出气阀(17)、外腔体质量流量计(18)、外腔体单向阀(19)，外腔体单向阀(19)的出口接尾气。
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