[发明专利]一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法在审
| 申请号： | 202111071468.6 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115807207A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘保剑;段微波;郑玉祥;李大琪;余德明;蔡清元;刘定权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/18;C23C14/30;C23C14/54;C23C14/58;G02B5/28 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，涉及光学薄膜技术领域。其包括步骤：制备Si膜层和SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 空间 遥感 系统 红外 滤光 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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