[发明专利]一种高效率离子镀膜设备及其镀膜方法在审
申请号: | 202111061140.6 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113737139A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 宋向东 | 申请(专利权)人: | 北京瓢虫星球信息技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/50;C23C14/58;F16B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102401 北京市房山*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了离子镀膜技术领域的一种高效率离子镀膜设备,包括固定环板、电机和离子枪,固定环板中央转动设置有主动轴,主动轴穿过固定环板的下端通过齿轮组啮合在电机输出轴上,位于固定环板上端的主动轴外壁同轴固定设置有两块相同的一上一的下同步环板;两块固定环板之间边缘环绕其轴线等角度竖向固定设置有多个同步架,解决了现有小型设备在对需要粘接的零部件进行离子镀膜时需要多次上料下料,再抽真空,再启动设备对零部件进行镀膜操作,从而每次上料下料均需要进行重新抽真空操作,从而在一定程度上造成设备的工作效率低下的问题产生。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效率 离子 镀膜 设备 及其 方法 | ||
【主权项】:
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