[发明专利]一种高效率离子镀膜设备及其镀膜方法

说明书

本发明公开了离子镀膜技术领域的一种高效率离子镀膜设备，包括固定环板、电机和离子枪，固定环板中央转动设置有主动轴，主动轴穿过固定环板的下端通过齿轮组啮合在电机输出轴上，位于固定环板上端的主动轴外壁同轴固定设置有两块相同的一上一的下同步环板；两块固定环板之间边缘环绕其轴线等角度竖向固定设置有多个同步架，解决了现有小型设备在对需要粘接的零部件进行离子镀膜时需要多次上料下料，再抽真空，再启动设备对零部件进行镀膜操作，从而每次上料下料均需要进行重新抽真空操作，从而在一定程度上造成设备的工作效率低下的问题产生。

技术领域

本发明涉及离子镀膜技术领域，具体为一种高效率离子镀膜设备及其镀膜方法。

背景技术

离子镀是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。它兼具蒸发镀的沉积速度快和溅射镀的离子轰击清洁表面的特点，特别具有膜层附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。因此，这一技术获得了迅速的发展。实现离子镀，有两个必要的条件：1.造成一个气体放电的空间；2.将镀料原子(金属原子或非金属原子)引进放电空间，使其部分离化；镀料的气化方式以及气化分子或原子的离化和激发方式有许多类型；不同的蒸发源与不同的离化激发方式又可以有许多种的组合。实际上，许多溅射镀从原理上看可为离子镀，亦称溅射离子镀，而一般说的离子镀常指采用蒸发源的离子镀。

现有小型设备在对需要粘接的零部件进行离子镀膜时需要多次上料下料，再抽真空，再启动设备对零部件进行镀膜操作，从而每次上料下料均需要进行重新抽真空操作，从而在一定程度上造成设备的工作效率低下的问题产生；其次多次抽真空从而造成了大量能量的浪费问题出现。

基于此，本发明设计了一种高效率离子镀膜设备及其镀膜方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高效率离子镀膜设备及其镀膜方法，以解决上述背景技术中提出了现有小型设备在对需要粘接的零部件进行离子镀膜时需要多次上料下料，再抽真空，再启动设备对零部件进行镀膜操作，从而每次上料下料均需要进行重新抽真空操作，从而在一定程度上造成设备的工作效率低下的问题产生；其次多次抽真空从而造成了大量能量的浪费的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高效率离子镀膜设备，包括固定环板、电机和离子枪，所述固定环板中央转动设置有主动轴，所述主动轴穿过固定环板的下端通过齿轮组啮合在电机输出轴上，位于固定环板上端的所述主动轴外壁同轴固定设置有两块相同的一上一的下同步环板；两块所述固定环板之间边缘环绕其轴线等角度竖向固定设置有多个同步架，每个所述同步架内部上下对称转动设置有两组对称的平行四边形组，每组所述平行四边形组包括两根平行的横杆，两个所述横杆一端转动设置在同步架内壁，两个所述横杆远离同步架的一端转动设置有同一根竖杆，同一平行四边形组内的两个所述竖杆相对靠近一端均固定设置有夹具组，两个夹具组之间设置有离子枪，所述离子枪通过支架固定设置在固定环板上端面，每组平行四边形组内的所述横杆与同步架铰接的转轴穿过同步架的一端均套设有同步带，所述同步带内还套设有同步齿轮，所述同步齿轮转动设置在同步架外侧壁，同一同步架侧壁的两个所述同步齿轮相互啮合，同一同步架侧壁的两组平行四边形组内的相互靠近的两个所述横杆之间固定设置有同一根复位弹簧，所述固定环板上端面还固定设置有曲线触发块；

作为本发明的进一步方案，所述夹具组包括有夹装平台，两个所述夹装平台固定设置在两个竖杆相互靠近的一端，每组所述夹装平台四周转动设置有夹装板，所述夹装板通过滑支架转动设置在夹装平台端面上，所述竖杆内壁竖向滑动设置有粘接块，所述粘接块四周侧壁均转动设置有预紧杆，所述预紧杆穿过竖杆侧壁开设的避让孔的一端铰接在夹装板内壁，每个所述粘接块靠近横杆的一端设置有触发块，所述触发块固定设置在竖杆与横杆转动铰接的与横杆固定的转轴外壁上；

作为本发明的进一步方案，所述滑支架滑动设置在夹装平台端面，所述滑支架侧壁与夹装平台之间固定设置有弹簧杆，所述弹簧杆末端穿过夹装平台；