[发明专利]一种高效率离子镀膜设备及其镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202111061140.6 申请日: 2021-09-10
公开(公告)号: CN113737139A 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 宋向东 申请(专利权)人: 北京瓢虫星球信息技术有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/50;C23C14/58;F16B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 102401 北京市房山*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 高效率 离子 镀膜 设备 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种高效率离子镀膜设备,包括固定环板(11)、电机(12)和离子枪(13),其特征在于:所述固定环板(11)中央转动设置有主动轴(14),所述主动轴(14)穿过固定环板(11)的下端通过齿轮组啮合在电机(12)输出轴上,位于固定环板(11)上端的所述主动轴(14)外壁同轴固定设置有两块相同的一上一的下同步环板(15);两块所述同步环板(15)之间边缘环绕其轴线等角度竖向固定设置有多个同步架(16),每个所述同步架(16)内部上下对称转动设置有两组对称的平行四边形组(17),每组所述平行四边形组(17)包括两根平行的横杆(18),两个所述横杆(18)一端转动设置在同步架(16)内壁,两个所述横杆(18)远离同步架(16)的一端转动设置有同一根竖杆(19),同一平行四边形组(17)内的两个所述竖杆(19)相对靠近一端均固定设置有用于夹装工件的两个夹具组(20)。

2.根据权利要求1所述的一种高效率离子镀膜设备,其特征在于:所述夹具组(20)之间设置有离子枪(13),所述离子枪(13)通过支架固定设置在固定环板(11)上端面,每组平行四边形组(17)内的所述横杆(18)与同步架(16)铰接的转轴穿过同步架(16)的一端均套设有同步带(21),所述同步带(21)内还套设有同步齿轮(22),所述同步齿轮(22)转动设置在同步架(16)外侧壁,同一同步架(16)侧壁的两个所述同步齿轮(22)相互啮合,同一同步架(16)侧壁的两组平行四边形组(17)内的相互靠近的两个所述横杆(18)之间固定设置有同一根复位弹簧(23),所述固定环板(11)上端面还固定设置有曲线触发块(24)。

3.根据权利要求2所述的一种高效率离子镀膜设备,其特征在于:所述夹具组(20)包括有夹装平台(30),两个所述夹装平台(30)固定设置在两个竖杆(19)相互靠近的一端,每组所述夹装平台(30)四周转动设置有夹装板(31),所述夹装板(31)通过滑支架(34)转动设置在夹装平台(30)端面上,所述竖杆(19)内壁竖向滑动设置有粘接块(32),所述粘接块(32)四周侧壁均转动设置有预紧杆(33),所述预紧杆(33)穿过竖杆(19)侧壁开设的避让孔的一端铰接在夹装板(31)内壁,每个所述粘接块(32)靠近横杆(18)的一端设置有触发块(35),所述触发块(35)固定设置在竖杆(19)与横杆(18)转动铰接的与横杆(18)固定的转轴外壁上。

4.根据权利要求3所述的一种高效率离子镀膜设备,其特征在于:所述滑支架(34)滑动设置在夹装平台(30)端面,所述滑支架(34)侧壁与夹装平台(30)之间固定设置有弹簧杆(36),所述弹簧杆(36)末端穿过夹装平台(30)。

5.根据权利要求4所述的一种高效率离子镀膜设备,其特征在于:下端的所述粘接块(32)侧壁固定设置有退料杆(40),所述退料杆(40)穿过竖杆(19)侧壁竖向开设的竖滑孔的一端下侧接触有退料曲斜板(41),所述退料曲斜板(41)两端通过支架固定设置在固定环板(11)上端面,退料曲斜板(41)下端的所述固定环板(11)开设有退料口(42),所述退料曲斜板(41)上端设置有退料刷(43),所述退料刷(43)通过支架固定设置在固定环板(11)上端面。

6.根据权利要求5所述的一种高效率离子镀膜设备,其特征在于:所述固定环板(11)上端通过支架固定设置有两个一上一下的上料板(50),所述上料板(50)下端开设有与夹装平台(30)相对应的进料口(51),上端的所述进料口(51)侧壁竖向滑动有进给板(52),所述进给板(52)下端固定设置有上料杆(53),所述上料杆(53)竖向滑动设置在两上料板(50)之间的支架上,所述上料杆(53)穿过上料板(50)之间的支架一端接触有喂料斜板(54),所述喂料斜板(54)下端通过支架滑动设置有强压弹簧(55),所述强压弹簧(55)另一端通过支架固定设置在上料板(50)侧壁,所述喂料斜板(54)上端套设在上料板(50)侧壁的支架长槽孔内,所述喂料斜板(54)穿过支架的一端开设有与弹簧杆(36)末端配合的斜面(56)。

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