[发明专利]一种多晶硅清洗液的评估方法有效
| 申请号： | 202111058646.1 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113624704B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张天雨;王敏;王付刚;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司;扬州大学广陵学院 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 11813 | 代理人： | 倪青华 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种多晶硅清洗液的评估方法，包括以下步骤：建立循环系统，自对多晶硅清洗液进行存储的槽体一处对部分清洗液进行抽取，且自另一处将抽取的清洗液返送回槽体内；对循环系统内的清洗液进行吸光度分析，获得吸光度值；对吸光度值进行信号转化，获得数字信号；通过数字信号对清洗液进行评估。本发明中利用吸光度分析的方法确定HF/HNO |
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| 搜索关键词： | 一种 多晶 清洗 评估 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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