[发明专利]一种多晶硅清洗液的评估方法

权利要求书

1.一种多晶硅清洗液的评估方法，其特征在于，包括以下步骤：

建立循环系统，自对多晶硅清洗液进行存储的槽体一处对部分清洗液进行抽取，且自另一处将抽取的所述清洗液返送回所述槽体内；

对所述循环系统内的清洗液进行吸光度分析，获得吸光度值；

对所述吸光度值进行信号转化，获得数字信号；

通过所述数字信号对所述清洗液进行评估；

对所述清洗液的吸光度分析在所述循环系统局部透光的管道位置进行，且局部透光的管道位置处于无光环境中；

在所述局部透光的管道位置供光线进入，且通过管道壁对所述光线进行与入射方向相反的反射，通过入射光线和反射光线进行所述吸光度分析；

在所述循环系统内的清洗液持续循环的过程中，在设定时间内，连续进行两次所述吸光度分析，通过控制设定时间的长短，使得两次吸光度分析针对流通方向上距离较近但又处于不同位置的两处清洗液进行，分别获得第一吸光度值A₁和第二吸光度值A₂，用于转换为所述数字信号的吸光度值为A₀₁，其中，

A₀=（A₁+ A₂）/2；

对求得的A₀进行修订，修订后的值为A₀₁，其中，

；

通过所述数字信号对所述清洗液进行评估，包括以下步骤：

制备不同重量百分比的HF/HNO₃水溶液；

对各水溶液进行吸光度分析，获得参考吸光度值；

对所述参考吸光度值进行信号转化，获得参考数字信号；

建立不同重量百分比的HF/HNO₃水溶液与不同参考数字信号的对应关系；

将所述数字信号与所述参考数字信号进行比对，根据比对结果在所述对应关系中确定可作为数字信号评估结果的HF/HNO₃重量百分比。

2.根据权利要求1所述的多晶硅清洗液的评估方法，其特征在于，所述循环系统内的清洗液是在清洗过程中持续不断循环的。

3.根据权利要求1所述的多晶硅清洗液的评估方法，其特征在于，令光线相对于管道壁垂直入射且垂直反射。

4.一种多晶硅清洗液的评估方法，其特征在于，包括以下步骤：

建立循环系统，自对多晶硅清洗液进行存储的槽体一处对部分清洗液进行抽取，且自另一处将抽取的所述清洗液返送回所述槽体内；

对所述循环系统内的清洗液进行吸光度分析，获得吸光度值；

对所述吸光度值进行信号转化，获得数字信号；

通过所述数字信号对所述清洗液进行评估；

对所述清洗液的吸光度分析在所述循环系统局部透光的管道位置进行，且局部透光的管道位置处于无光环境中；

在所述局部透光的管道位置一侧供光线进入，且通过另一侧供光线射出，通过入射光线和出射光线进行所述吸光度分析；

在所述循环系统内的清洗液持续循环的过程中，在设定时间内，连续进行两次所述吸光度分析，通过控制设定时间的长短，使得两次吸光度分析针对流通方向上距离较近但又处于不同位置的两处清洗液进行，分别获得第一吸光度值A₁和第二吸光度值A₂，用于转换为所述数字信号的吸光度值为A₀₁，其中，

A₀=（A₁+ A₂）/2；

对求得的A₀进行修订，修订后的值为A₀₁，其中，

；

通过所述数字信号对所述清洗液进行评估，包括以下步骤：

制备不同重量百分比的HF/HNO₃水溶液；

对各水溶液进行吸光度分析，获得参考吸光度值；

对所述参考吸光度值进行信号转化，获得参考数字信号；

建立不同重量百分比的HF/HNO₃水溶液与不同参考数字信号的对应关系；

将所述数字信号与所述参考数字信号进行比对，根据比对结果在所述对应关系中确定可作为数字信号评估结果的HF/HNO₃重量百分比。