[发明专利]基于相位偏折术的样品检测装置以及方法有效

专利信息
申请号: 202111058271.9 申请日: 2021-09-09
公开(公告)号: CN113916152B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 刘挺;朱传贵;刘树文 申请(专利权)人: 湖南长步道光学科技有限公司
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 肖云
地址: 410117 湖南省长*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了基于相位偏折术的样品检测装置以及方法,通过两个边缘相机采集待测样品的第一图像数据,通过中间相机采集第二图像数据,最后基于第一图像数据和相机组的相机标定数据,计算两个边缘相机中心点对应的待测样品中心点的坐标高度,并基于第二图像数据、待测样品中心点的坐标高度、相机组的标定数据和投影屏幕的标定数据,最后计算待测样品所有表面点坐标高度。本申请通过两个边缘相机对待测样品中心点的坐标进行精确定位,两个边缘相机无需覆盖待测样品的整个范围,然后再结合覆盖待测样品的整个范围的中间相机采集的图像数据以及标定数据,计算得到待测样品表面所有点的坐标高度。解决了现有检测方式精度低,范围小、速度慢等问题。
搜索关键词: 基于 相位 偏折术 样品 检测 装置 以及 方法
【主权项】:
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