[发明专利]一种紫外光增强的复合结构光调控薄膜

摘要

本发明为一种紫外光增强的复合结构光调控薄膜，可用于提高探测器在近紫外甚至真空紫外检测的响应灵敏度。设计制作的复合结构薄膜传感器，由衬底层、金属纳米粒子层、缓冲层、发光层、隔离层和减反射层组成。通过调控使纳米粒子的共振吸收波长和发光层的发射波长匹配，从而形成了较强的等离子体共振耦合电磁场，使得发光材料的辐射复合速率和激发态荧光分子的数量增加。发明的紫外光增强的复合结构光调控薄膜在120～200nm处和240～360nm处均实现了发射强度增强。此外，隔离层和减反射层在减少入射能量损耗的同时，还对发光层起到隔离水汽、减缓氧化的保护作用。