[发明专利]一种具有可控冷却装置的单晶硅直拉炉有效
| 申请号： | 202111053568.6 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113502533B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 徐余琴;樊海刚 | 申请（专利权）人： | 江苏矽时代材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226100 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有可控冷却装置的单晶硅直拉炉，属于单晶硅直拉炉领域，一种具有可控冷却装置的单晶硅直拉炉，技术人员则可以根据单晶硅锭的冷却需要，调节冷却装置的冷却效果，由于尖端放电效应，在静电网接通后电子会沿着导热柱迁移到导热柱远离静电网的一端并存储，由于导热柱自身的电阻率不同，电阻率越低的导热柱上月越容易积攒静电，容易形成立直状态，使得高导热性能的导热部裸露在外，增加与水冷管之间的热交换效率，增加降温效率，可以通过对静电网上静电的控制来实现对绝缘隔热基体内侧各位置的导热柱的状态进行改变，进而实现对单晶硅硅锭不同位置实现精准的差异型冷却效率控制，增加单晶硅硅锭的成型效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 可控 冷却 装置 单晶硅 直拉炉 | ||
【主权项】：
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