[发明专利]一种衬底输送机构有效
申请号: | 202111051061.7 | 申请日: | 2021-09-08 |
公开(公告)号: | CN113734800B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 李宏;张江水;景健;王俊;张广犬;胡普查;方勇健;黄游;杨涛;刘哲 | 申请(专利权)人: | 杭州中为光电技术有限公司 |
主分类号: | B65G49/04 | 分类号: | B65G49/04;B65G15/58;B65G23/44;B65G45/10 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 311100 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种衬底输送机构,属于片体输送技术领域;作用在浸于液体且成列放置的衬底组上,衬底输送机构包括:基座组件;输送组件,所述输送组件包括:主动轮;从动轮,从动轮和主动轮构成一输送框架;输送带,所述输送带设置在所述输送框架上,并沿输送框架循环运动;且所述输送带沿输送方向划分为至少三个区域,三个区域包括第一带区、第二带区以及第三带区;捋水组件,所述捋水组件设置在基座组件上;其中,所述捋水组件作用在输送带位于第二带区的部分上,并通过捋水组件使得输送带经过第二带区的部分的含水量降低;达到输送机构运送衬底时稳定的技术效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 衬底 输送 机构 | ||
【主权项】:
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