[发明专利]一种表面涂覆碳化钽涂层的石墨热场材料及其制备方法有效
| 申请号： | 202111036456.X | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113735627B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 吴新锋;唐波 | 申请（专利权）人： | 杭州幄肯新材料科技有限公司;诸暨市幄肯中智新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C23C4/134;C23C4/06;C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 湖南天地人律师事务所 43221 | 代理人： | 刘擎天 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市大江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面涂覆碳化钽涂层的石墨热场材料及其制备方法。本发明利用等离子喷涂方法喷涂高纯钽粉和石墨烯粉和快速渗碳碳化钽化的制备表面涂覆碳化钽涂层的石墨热场材料。所述方法包括石墨表面高压水处理、高压水共混粉体、等离子喷涂钽粉、高温渗碳原位碳化钽化等步骤。本发明所述制备方法不仅生产效率高、能耗低、污染小、纯度高、防热冲击性能好，高效低能，且最终形成的碳化钽涂层致密、强度高、纯度高、耐高温冲刷。碳化钽涂层最终拉拔强度可以达到5MPa，杂质含量可以控制在2ppm以下，本发明所得到的表面涂覆碳化钽涂层的石墨热场材料可直接用在真空及惰性气体保护的高温炉内，能在1000—2500℃的温度下稳定使用，尤其是第三代半导体长晶炉热场等高温热场中必不可少的热场材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 碳化 涂层 石墨 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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