[发明专利]寄生电容的测试电路和测试方法在审
| 申请号： | 202111031915.5 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113884853A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 孙杰;郁玉玲;王艳辉 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R27/26 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种寄生电容的测试电路和测试方法，参考支路和测试支路分设若干功能区，所述参考支路的晶体管的栅极电连接参考驱动支路，功能区上设有参考接触孔，所述参考接触孔输出参考电流至参考读取支路；所述参考接触孔与所述栅极之间具有平行于第一方向的参考栅通尺寸；所述测试支路的所述晶体管的栅极电连接所述测试驱动支路，功能区上设有测试接触孔，所述测试接触孔输出测试电流至测试读取支路；所述测试接触孔与所述栅极之间具有平行于所述第一方向的测试栅通尺寸，测试栅通尺寸大于0且小于或等于所述参考栅通尺寸。通过分离提取晶体管的第一电容测试值、第二电容测试值和第三电容测试值，提高了寄生电容的提取准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 寄生 电容 测试 电路 方法 | ||
【主权项】：
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