[发明专利]玻璃基板表面颗粒检测系统在审
| 申请号： | 202111022317.1 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN113945491A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李青;李赫然;穆美强;苏记华;任晓金;孟伟华;王文龙;王欣;刘晓波;王瑞涛 | 申请（专利权）人： | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统，属于玻璃基板制造技术领域，包括：支架，所述支架上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构；颗粒检测单元，用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息；吸光组件，设置在所述支架上，用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。本发明的玻璃基板表面颗粒检测系统具有能够实时的检测玻璃基板的上表面颗粒信息和上下表面颗粒信息，实现实时监控整版玻璃基板品质，大大提高了生产效率；并且，机构简单，容易控制，能够降低检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 表面 颗粒 检测 系统 | ||
【主权项】：
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