[发明专利]玻璃基板表面颗粒检测系统

权利要求书

1.一种玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，包括：

支架(1)，所述支架(1)上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构(2)和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构(3)；

颗粒检测单元(5)，用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息；

吸光组件(6)，设置在所述支架(1)上，用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述传送机构(2)包括：

多个沿玻璃基板输送方向相对设置的传送轮(21)，所述传送轮(21)承载玻璃基板的两端对玻璃基板进行输送；

驱动电机(22)，设置在所述支架(1)上并与每一所述传送轮(21)上的链轮连接，用于驱动所述传送轮(21)转动。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述气浮机构(3)包括：

多个气浮条安装部(31)，沿玻璃基板输送方向间隔设置在所述支架(1)上，且位于相对设置的所述传送轮(21)之间；

气浮条(32)，对应设置在每一所述气浮条安装部(31)内，用于在玻璃基板传送过程中托浮所述传送轮(21)所承载的玻璃基板，以保持所输送的玻璃基板处于水平状态。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述颗粒检测单元(5)包括：

上表面检测单元(51)，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部(31)之间的空隙上方，用于获取所输送的玻璃基板的上表面信息；

下表面检测单元(52)，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部(31)之间的空隙内且位于所述上表面检测单元(51)下方，用于获取所输送的玻璃基板的下表面信息；

运动机构(4)，设置在所述支架(1)上，用于控制所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)执行检测动作；

颗粒信息获取装置，与所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)连接，用于根据所述上表面信息和所述下表面信息获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)均包括多个图像拍摄单元(501)，多个所述图像拍摄单元(501)沿垂直于玻璃基板输送方向上下排列；

每一所述图像拍摄单元(501)用于获取对应的检测区域的玻璃基板表面图像信息并传送至颗粒信息获取装置；

所述颗粒信息获取装置用于对接收到的玻璃基板表面图像信息进行图像处理以获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述图像拍摄单元(501)为CCD、摄像头和相机中的一种。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述运动机构(4)包括：

用于驱动所述上表面检测单元(51)的图像拍摄单元(501)沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第一运动机构(41)，设置在所述支架(1)的顶端；

用于驱动所述下表面检测单元(52)的图像拍摄单元(501)沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第二运动机构(42)，设置在所述支架(1)的底端。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述第一运动机构(41)和所述第二运动机构(42)均包括：

承载板(401)，用于安装所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)，所述承载板(401)通过滑块(402)和滑轨(403)可滑动安装在所述支架(1)上；

伺服电机(404)，通过丝杆(405)与所述承载板(401)连接，通过驱动所述丝杆(405)控制所述承载板(401)沿竖直方向上下运动。