[发明专利]玻璃基板表面颗粒检测系统在审

专利信息
申请号: 202111022317.1 申请日: 2021-09-01
公开(公告)号: CN113945491A 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 李青;李赫然;穆美强;苏记华;任晓金;孟伟华;王文龙;王欣;刘晓波;王瑞涛 申请(专利权)人: 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02;G01N21/958
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 肖冰滨;王晓晓
地址: 450016 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 表面 颗粒 检测 系统
【说明书】:

发明实施例提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统,属于玻璃基板制造技术领域,包括:支架,所述支架上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构;颗粒检测单元,用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息;吸光组件,设置在所述支架上,用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。本发明的玻璃基板表面颗粒检测系统具有能够实时的检测玻璃基板的上表面颗粒信息和上下表面颗粒信息,实现实时监控整版玻璃基板品质,大大提高了生产效率;并且,机构简单,容易控制,能够降低检测成本。

技术领域

本发明涉及玻璃基板制造技术领域,具体地涉及一种玻璃基板表面颗粒检测系统。

背景技术

目前,对成品玻璃基板进行深加工时,对玻璃基板的四边的进行切割、研磨、清洗,以及玻璃基板在生产流水线上物流传输的过程中,玻璃基板会受到不同程度的次生污染,表面产生各类大小不同的瑕点,影响玻璃基板的品质。因此需要对玻璃基板进行颗粒检测,但是,通过现有的颗粒检测设备,只能对一块玻璃基板的特定区域进行检测,要想完整的记录一个整版的颗粒分布,需要依次检测若干块玻璃基板,采样这种方式效率较低,且无法确定不同片的玻璃基板其他未检测区域的颗粒分布,玻璃基板质量无法实时监控。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统,该玻璃基板表面颗粒检测系统用以解决上述的现有的颗粒检测设备,只能对一块基板玻璃基板的特定区域进行检测,检测效率低的问题。

为了实现上述目的,本发明实施例提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统,包括:

支架,所述支架上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构;

颗粒检测单元,用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息;

吸光组件,设置在所述支架上,用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。

可选的,所述传送机构包括:

多个沿玻璃基板输送方向相对设置的传送轮,所述传送轮承载玻璃基板的两端对玻璃基板进行输送;

驱动电机,设置在所述支架上并与每一所述传送轮上的链轮连接,用于驱动所述传送轮转动。

可选的,所述气浮机构包括:

多个气浮条安装部,沿玻璃基板输送方向间隔设置在所述支架上,且位于相对设置的所述传送轮之间;

气浮条,对应设置在每一所述气浮条安装部内,用于在玻璃基板传送过程中托浮所述传送轮所承载的玻璃基板,以保持所输送的玻璃基板处于水平状态。

可选的,所述颗粒检测单元包括:

上表面检测单元,设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部之间的空隙上方,用于获取所输送的玻璃基板的上表面信息;

下表面检测单元,设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部之间的空隙内且位于所述上表面检测单元下方,用于获取所输送的玻璃基板的下表面信息;

运动机构,设置在所述支架上,用于控制所述上表面检测单元和所述下表面检测单元执行检测动作;

颗粒信息获取装置,与所述上表面检测单元和所述下表面检测单元连接,用于根据所述上表面信息和所述下表面信息获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

可选的,所述上表面检测单元和所述下表面检测单元均包括多个图像拍摄单元,多个所述图像拍摄单元沿垂直于玻璃基板输送方向上下排列;

每一所述图像拍摄单元用于获取对应的检测区域的玻璃基板表面图像信息并传送至颗粒信息获取装置;

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