[发明专利]双轴垂直梳齿MEMS微镜、微镜阵列及制备方法有效
| 申请号： | 202111003113.3 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113820851B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 李伟;徐静 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双轴垂直梳齿MEMS微镜、微镜阵列及制备方法，该MEMS微镜的第一可动梳齿、第一固定梳齿位于反射镜硅层的下方，在实现两个方向大角度偏转的同时，提高了MEMS微镜的占空比，有效减小了MEMS微镜的体积。反射镜硅层下方带有加强筋结构，有效改善了MEMS微镜在静止及运动过程中的表面平整度。同时，本发明的MEMS微镜提供了隐藏式梳齿结构及双面电极结构。此外，梳齿之间还通过基板中的绝缘填充槽实现电隔离，梳齿电极分别与各个梳齿电连接，实现了梳齿之间的单独控制，具有更高的灵活性。本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具有高度产业利用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 梳齿 mems 微镜 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
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